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詳細介紹
晶圓表面用二氧化硅
晶圓表面用二氧化硅
納米二氧化硅™尺寸標準
MSP Corporation 的 NanoSilica™Size Standards 是 SiO2顆粒的濃縮水懸浮液，具有高度均勻的尺寸分布。
這些粒徑標準目前提供的標稱尺寸范圍為 15 至 200 nm，非常適合為下一代晶圓和光掩模檢測系統生產高質量校準標準。
雖然 MSP 23000NPT 系列和 2300G3 系列粒子沉積系統為表面缺陷校準標準的生產提供了最佳結果，但較舊的 MSP 系統和其他制造商的系統也適用于納米二氧化硅尺寸標準。
特征
+ 極其均勻的尺寸分布
我們的納米二氧化硅尺寸標準采用獲得**的 SiO2合成工藝開發，其尺寸分布比市售的 PSL 球更窄。
+ 使用 SI 可追溯性測量的峰直徑
允許產量提高和計量小組根據 ISO 9000 標準和 SEMI 指南建立其檢查和缺陷審查方法的可追溯性。
+ 受到強烈 DUV 輻射時穩定
MSP 的 SiO2顆粒在暴露于 DUV 輻射時不會降解，這與 PSL 球體不同，PSL 球體的尺寸會減小。
+ 易于使用
NanoSilica 顆粒懸浮液在滴管瓶中提供，以便在您的應用中混合具有適當數量濃度的懸浮液時使用方便。
+ 高粒子濃度
一些應用需要高濃度。 MSP 的顆粒濃度是業內最高的之一。
+ 輕松辨別模態（峰值）直徑
+ 避免由于平均和峰值直徑值之間的差異而導致的差異
+ 制備適用于效率相對較高或較低的氣溶膠產生裝置的稀釋懸浮液
+ 為***的檢測工具創建持久的校準標準
+ 消耗更少的材料；存錢
+ 隨附校準和可追溯性證書以及帶有處理和處置說明的安全數據表 (SDS)
型號 |
目錄編號 | 標稱粒徑 [nm] | 認證1峰值直徑 [nm] | 大約 Size Dist. Width, RFWHM2
|
1044 | NS-0015A | 15 | 14-16 | 13% |
1046 | NS-0018A | 18 | 17-19 | 12% |
1047 | NS-0020A | 20 | 19-21 | 11% |
1048 | NS-0024A | 24 | 23-25 | 10% |
1075 | NS-0027A | 27 | 26-28 | 9% |
1049 | NS-0030A | 30 | 29-31 | 8% |
1079 | NS-0032A | 32 | 31-33 | 7% |
1062 | NS-0035A | 35 | 34-36 | 7% |
1076 | NS-0037A | 37 | 36-38 | 6% |
1051 | NS-0040A | 40 | 39-41 | 6% |
1063 | NS-0045A | 45 | 44-46 | 5% |
1052 | NS-0050A | 50 | 49-51 | 5% |
1077 | NS-0055A | 55 | 53-57 | 5% |
1053 | NS-0060A | 60 | 58-62 | 4% |
1067 | NS-0064A | 64 | 62-66 | 4% |
1054 | NS-0070A | 70 | 68-72 | 4% |
1068 | NS-0074A | 74 | 72-76 | 4% |
1055 | NS-0080A | 80 | 78-82 | 4% |
1069 | NS-0084A | 84 | 82-86 | 4% |
1057 | NS-0090A | 90 | 88-92 | 4% |
1070 | NS-0094A | 94 | 92-96 | 4% |
1058 | NS-0100A | 100 | 98-102 | 4% |
1071 | NS-0104A | 104 | 102-106 | 4% |
1059 | NS-0125A | 125 | 120-130 | 4% |
1060 | NS-0150A | 150 | 145-155 | 4% |
1061 | NS-0200A | 200 | 190-210 | 4% |
1給定目錄號的認證直徑將在規定范圍內提供。
2相對半高寬（半高全寬）； FWHM 除以模態直徑。
粒子組成 | 無定形SiO2 |
粒子密度 | 1.9 克/厘米3 |
折射率 | 633納米時為1.41英寸 |
體積 | 5 毫升 |
專注 | 每毫升 1013至 1015顆粒 |
截止日期 | ≥ 24 個月 |
添加劑 | 乙醇（按質量計 5-20%） 有機穩定劑（<0.1% 質量） |
儲存和處理 | 在室溫下儲存（參見校準和可追溯性證書 更多詳情。 |
NanoSilica™ 微粒子標準溶液是由MSP Corporation制作的高度均勻尺寸SiO2微粒子濃縮水溶液，微粒子尺寸從18nm到200nm都可選擇，是市面上***、高質量的校正標準，適用于最新一代的晶圓表面污染/缺陷檢查系統及光罩檢查系統。
***的半導體檢查技術已經發展到小于30nm，以往使用Polystyrene latex (PSL)球形化粒子即可做晶圓表面污染/缺陷檢查系統及光罩檢查系統的校正，但新一代的檢查系統使用到Deep ultraviolet (DUV) or Extreme ultraviolet (EUV)才能檢查小于20nm的污染或缺陷，當UV光重復打在PSL球形化粒子上，將影響到PSL球形化粒子的質量; 由于SiO2微粒子在DUV及EUV的照射下擁有穩定的質量，因此SiO2微粒子是最佳的替代產品。
NanoSilica™ 微粒子標準溶液是使用有**的SiO2合成技術，可以做到如PSL球形化粒子一樣的尺寸分布，從目前最小的微粒子尺寸來看，NanoSilica™ 微粒子標準溶液是尺寸最均勻，適合做尺寸大小峰值的量測的工具。
NIST-traceable NanoSilica™ 微粒子標準溶液是MSP Corporation透過National Institute of Standards and Technology (NIST)追溯到標準單位的產品，加上ISO 9000與SEMI的認證，讓良率提升及表面檢查和缺陷評估有所依據。
NanoSilica™ 微粒子標準溶液使用15-mL滴定，讓使用者操作更方便。每一瓶溶液的卷標皆標示產品編號、生產編號、微粒子尺寸峰值、尺寸分布半高寬及有效期限，而且提供NIST-traceable證明書與Material Safety Data Sheet (MSDS)說明書。
產品優勢
•尺寸大小分布均勻
•NIST traceability 的尺寸大小
•DUV及EUV的照射下擁有穩定的質量
•高濃縮度微粒子懸浮溶液
產品效益
•易于微粒子撒粒系統、晶圓表面污染/缺陷檢查系統或各類分析儀器偵測與量測尺寸峰值
•可避免平均尺寸與尺寸峰值的差異性
•適合氣膠產生設備使用
•提供耐久校正標準給*進的檢測設備使用
•省錢而且耗用量少
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